소재ㆍ부품ㆍ장비 기술자립 지원을 위한 핵심사업인 ’반도체 소재ㆍ부품ㆍ장비 테스트베드 구축사업‘이 계획대로 차질없이 진행되고 있다.

과학기술정보통신부 최기영 장관은 11일 국내 최초로 나노종합기술원(원장 이조원)에 구축되는 반도체 소재·부품·장비 국산화 지원 테스트베드 현장을 찾아 진행상황을 점검하고 테스트베드 활성화를 위한 간담회를 가졌다.

테스트베드는 대기업 양산설비와 비슷한 실장 환경을 구축하여 중소기업의 소재ㆍ부품ㆍ장비에 대한 실험ㆍ성능평가를 지원하는 역할을 한다.

과기정통부는 작년 하반기부터 테스트베드에 필요한 핵심장비 도입(10대)을 추진해 왔고, 얼마 전 반도체 노광장비를 대기업의 협조를 바탕으로 확보하는 한편, 나머지 장비들도 올해말까지 구축을 모두 완료할 계획이다. 아울러 장비구축과 동시에 시범서비스를 제공하고, 공정고도화를 통해 서비스의 질적 수준을 높이게 된다.

현장 점검 후 실시된 간담회에는 반도체 소재·부품·장비 중소기업을 비롯, 한국반도체산업협회와 삼성, SK하이닉스, ASML코리아 등 반도체 분야 핵심 관계자들이 참석해 테스트베드 발전을 위한 기업 건의사항, 상생협력방안 등에 대해 논의했다.

또한, 간담회에서는 최근 나노종기원 팹시설을 활용하여 기술개발과 사업화에 성공한 기업들의 성공사례들도 소개되었다.

최기영 장관은 “일본 수출규제와 최근 코로나19로 인한 글로벌 공급망 재편 움직임의 ‘위기’가 산․학․연․관 역량결집의 ‘기회’가 되고 있다”며, “나노종기원의 테스트베드가 현장수요에 부합하는 양질의 서비스 제공을 넘어 소재․부품 공급기업과 최종 수요기업의 적극적인 연계와 협력을 위한 플랫폼이 되도록 노력해 달라”고 당부했다.

나노종기원은 테스트베드의 기초․적용 단계 성능평가 결과를 수요기업의 양산평가에 연계할 수 있도록 반도체산업협회와의 협력을 강화하는 한편, 개방장비 및 이용시간 확대, 인력확충 등을 통한 전반적인 서비스 혁신을 추진할 계획이다.

특히 코로나19와 같은 감염병 이슈해결을 위해 나노팹 장비와 공정기술을 기반으로, 대학․연구소, 병원, 기업 등과의 협업을 통한 나노바이오디바이스 개발도 더욱 적극적으로 추진할 예정이다.