(한국금융경제신문) 한미진 기자 = (주)이큐테크플러스가 ‘라디칼 고밀도화 반응유닛에 의한 반도체 박막 증착기술’이 산업통상자원부, 국가기술표준원으로부터 ‘NET’(New Excellent Technology) 신기술 인증을 획득했다.

NET 신기술 인증은 산업기술혁신법 제15조 2항에 따라 국내 최초로 개발했거나 기존 기술을 혁신적으로 개선·개량한 신기술을 발굴해 그 우수성을 인증함으로써 신기술의 상용화 및 기술거래를 촉진하고자 산업통상자원부가 부여하는 인증 제도이다.

이번에 NET 신기술 인증을 받은 ‘라디칼 고밀도화 반응유닛에 의한 반도체 박막 증착기술’은 반도체 제조 과정에 꼭 필요한 증착 공정을 기존공정 보다 낮은 온도인 550~700℃에서 열에너지를 이용하여 라디칼을 생성시키고, 라디칼의 반응성을 최대화해 반응가스 고농도화에 의한 고밀도 라디칼 생성이 가능하여, 고품질의 박막 생성이 가능하게 하는 획기적인 반도체 증착기술이다.

해당 기술은 차세대 반도체 기술의 최대 핵심인 5nm급 이하 LOGIC·DRAM을 위한 산화막 고품질화 및 100단 이상 3D-VNAND에서 균일한 산화막을 확보할 수 있으며, 한편 이 기술을 적용한 라디칼 산화장비는 700℃ 이하, 저압 조건에서 고밀도의 라디칼을 일정 영역에서만 유지시킴으로써 탄소 간 결합을 배제하면서, SiO2 산화막을 생성시킴으로 계면결합을 감소시킬 수 있는 산화막 생성이 가능하므로 SiC 전력반도체 연구 및 생산을 위한 산화 장비로도 활용할 수 있다.

또한 이 기술은 에너지 절약, 그린에너지, 전력 효율화의 추세에 따라 세계적으로 급성장 중인 전력반도체에 활용할 수 있고, 전 세계적으로 전기차 판매가 확대됨에 따라, 배터리 기술과 함께 수요가 증가할 것으로 예상된다는 것이 업체 측 설명이다.

이큐테크플러스 김용원 대표는 "전력반도체용 산화막장비 개발이 완료되는 2024년 국내 전력반도체 산업 기술력 향상에 기여하고, 대부분 주력장비를 수입에 의존하는 반도체 장비의 국산화율을 한층 높일 수 있을 것“이라고 전망했다.

한편, 이큐테크플러스는 NET 인증기술을 바탕으로 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제(과제명: 수kV급 고전력 분야용 SiC 전력반도체 계면결함감소를 위한 저온, 고밀도 Radical 산화 장비 개발)에 선정되어 전력반도체용 산화막 장비개발을 시작, 개발 기술의 상용화에 박차를 가하고 있다.